Искажения электронно-оптических изображений, возникающие вследствие разброса частиц по энергиям в пучке наличия тепловых скоростей, дифракции чего-либо, а также из-за эффектов пространственного заряда. Классификацию Аберраций электронных линз см. в ст. Электронная и ионная оптика. Аберрациями обладают и электронные зеркала.