Спотворення електронно-оптичних зображень, що виникають унаслідок розкиду часток за енергіями в пучку, наявності теплових швидкостей, дифракції тощо, а також через ефекти просторового заряду. Класифікацію аберацій електронних лінз див. у ст. Електронна й іонна оптика. Аберації мають і електронні дзеркала.