Вакуумна спектроскопія, спектроскопія короткохвильової УФ області і м'якого рентгенівського випромінювання (від 2*102 до 0,4—0,6 нм). У цій, т. н. вакуумній, області спектра повітря має сильне поглинання, і для дослідження спектрів у ній застосовують вакуумні спектральні прилади, оптичні частини і приймач яких поміщені у вакуумовану (до 10-5 мм рт. ст.) камеру або камеру, наповнену інертним газом. Спектри, спостережувані у вакуумній спектроскопії, зумовлені електронними квантовими переходами в одно- і багаторазово іонізованих атомах, а також у деяких молекулах. У вакуумній спектроскопії вивчають спектри випускання і поглинання для отримання інформації про рівні енергії іонів і молекул, для систематики спектрів. Методи вакуумної спектроскопії використовують для вивчення процесів у високотемпературній плазмі. Дослідження за допомогою методів вакуумної спектроскопії багатозарядних іонів має велике значення для розшифрування спектрів зір, туманностей та ін. космічних об'єктів. Спектральні прилади і методи вакуумної спектроскопії мають низку специфічних особливостей. Не існує оптичних матеріалів, прозорих у всій вакуумній області, тому, наприклад, прилади з призмами і лінзами з кристалів LiF і CaF2 застосовуються лише до довжин хвиль 1,1*102 і 1,25*102 нм. У більш КХ області як оптичні елементи застосовуються дифракційні ґратки (у т. ч. кристали, наприклад слюда). Для фотографування спектрів у вакуумній спектроскопії застосовують т. н. шуманівські фотопластинки з великим вмістом бромистого срібла і дуже малим вмістом желатини (желатина фотоемульсії звичайних пластинок має сильне поглинання у вакуумній області). Застосовують також сенсибілізовані фотопластинки. Як приймачі у вакуумній спектроскопії використовуються й лічильники іонізуючих випромінювань. Джерелом випромінювання у вакуумній спектроскопії зазвичай слугує високовольтна вакуумна, або «гаряча», іскра, одержувана при напрузі понад 5*104 В в іскровому проміжку близько 1 мм.